直线电机基本结构和原理

    目前，随着工业的讯速发展，半导体行业无论是从科技还是经济的角度，其重要程度都是非常巨大的。在半导体电路集成装配工艺过程中，由于零部件的结构相对简单细小，所以在组装上就有比较大的精度要求。直线电机除了拥有高速度，低磨耗的特性以外，还有高精度，结构简单，运动平稳等特性，它能使整个组装设备完美的运行，并且提高整个生产效率。因此，在组装上引用直线电机就成为了一种新的趋势。

       随着直线电机理论和产业的逐渐成熟。其在半导体设备中的应用也越来越广泛；两种典型结构直线电机，即U型电机、平板电机，具有结构简单、高响应特性和高精度等特点，从设计选型、抗干扰和精度控制等几方面举例分析。

1、直线电机基本结构和原理

       直线电机是将传统圆筒型电机的初级展开拉直，变初级封闭磁场为开放磁场，而旋转电机定子部分变为初级，旋转电机转子部分变为次级。在电机三相绕组中通入三相对称正弦电流后，在初级和次级间产生气隙磁场，气隙磁场沿展开直线方向呈正弦分布。当三相电流随着时间变化时，使气隙磁场按定向相序沿直线移动，这个气隙磁场称为行波磁场。当次级的感应电流和气隙磁场相互作用便产生了电磁推力。如果初级固定不动，次级就沿看行波磁场动的方向做直线运动，可实现直线电机直接驱动的进给。假设电动机为2级，有3相绕组A、B、C，每相绕组只有一个线圈在0~T/2这个区间，如图1所示。

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