半导体设备中常用直线电机有哪些？

       在半导体设备中，根据电机结构常用的直线电机分为两种：1、平板电机；2、U型电机。下面分别从电机选型抗干扰设计和应用等几个方面举例说明。

1、平板电机

       平板电机可以分为无槽无铁心，无槽有铁心和有槽有铁心。有的应用初级比次级长，有的比次级短，应用中初级长的为主，电机级缆随着动子（次级）运动。以有槽有铁心为例，铁心线圈被放进一个钢结构里以产生铁心线圈单元，铁心有效增强电机的推力输出。平板具有大推力、高刚度、低嵌齿效应等特点，如图2所示。该型电机通常用于大推力、长行程，且有一定精度要求的场合。另外，相对U型电机所需磁钢减少一半，价格相对较低。

2、U型电机

       U型电机又称为双边型直线电机，U型槽式直线电机有两个介金属板之间且都对着线圈动子的平行磁轨。动子是非钢的，磁场和推力线圈之间无干扰力产生，最小化了强大的磁力吸引带来的伤害。非钢线圈惯量小，允许非常高加速度。该型电机具有无嵌齿效应、较大持续推力和峰值推力等特点，通常用于中小推力、小步距和高定位精度的场合。其动子有T型和L型，其中T型制作成本稍高，㪚热性较好。刚性相对平板有铁心电机较低，负载惯量比较好低，对机械机构装配要求较高，尤其是动子内侧端部和定子内侧端部的间距要适当，若间距过大则电机输出力会出现明显的衰减。

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